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          MX8300M 氣體配比單元
          MX8300M-02
          MX8300M 氣體配比單元
          MX8300M-02
          • MX8300M 氣體配比單元(GMU)

          • 1. 技術特點:新一代微機電(MEMS)技術,自適應信號處理技術,數值仿真技術設計。具有精度高、穩定性好、量程比寬、抗干擾、壓損小等特點。
            2. 核心功能:流量數據采集/處理、記錄/顯示,滿足就地、NB-IOT物聯遠程抄表功能, 微小流量漏氣監測報警,異常大流量監測報警。具有良好的兼容性和互換性,安裝方便,維護簡單。
            3. 適用范圍:家用天然氣、人工煤氣、液化氣,油制氣、沼氣。壓力0-0.5Mpa,溫度 -20-80°C。
            4. 應用場合:住宅/小型商戶的燃氣計量與安全監控。
          產品描述
          功能
          規格參數
          訂貨信息
          附件
          圖表

          唯量 MX8300 系列氣體配比單元。利用該單元,用戶通過觸摸屏操作可完成氣體精確配比混合。在適用量程范圍內,配比單元的輸出氣體流量和氣體配比率連續可調。氣體配比濃度值實時顯示(選配),配比壓力連續可調(選配)。采用工業觸摸屏控制,性能穩定,人機界面友好。支持實時數據顯示,歷史數據趨勢,報表輸出??蛇x配 RJ45 通訊網口實現數據拓展,支持 MODBUS 標準通訊協議。外殼包括 5U 機箱,便攜式。

          MX8300 系列適用于 (1) 新能源行業的光伏材料工藝設備、鋰電材料工藝設備、氫能燃料電池測試設備; (2) 半導體行業如半導體集成電路工藝設備、光纖加工設備,包括擴散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入、真空鍍膜、光纖熔煉等生產工藝設備; (3) 生物醫藥裝備如醫療和制藥氣體設備、實驗室微反應裝置、氣體混合系統。

          MX8300 系列氣體配比單元用于二元以及多元氣體配比。利用多通道高精度氣體流量控制器 MFC 實現配比,氣體流量控制器 MFC 控制精度在使用范圍內不受介質壓力和溫度變化的影響。

          MX8300 系列氣體配比單元集成了 MEMS 微機電系統、數字信號處理、數值仿真等先進技術。其特點包括: 高靈敏度、高可靠性、大量程比、壓損小、快速響應、無需預熱、優異的零點和溫度穩定性、支持小微流量測量等。

          MFC 選用與美國半導體公司合作研發的流量傳感元件以及高性能的主控元件,產品生產檢驗全過程嚴格執行質量控制,保證產品的精度和長期可靠性。

           

          氣體配比單元結構
          MX8300 系列氣體配比單元由質量流量控制器 MFC,氣預處理組件,氣體后處理組件,HMI 控制界面組成。
          GMU 信號處理與控制模塊采用性能優良、可靠的元件設計制造。集成了先進的自適應信號處理與控制算法,有效抑制了測量數據隨機誤差。這些技術的應用使 GMU 具有響應迅速、精度高、穩定性好的特點。

          流量單位與標定

          GMU 常用氮氣標定。
          流量單位: SCCM (標準毫升/分);SLPM(標準升/分)
          標準狀態: T=273.15K (0℃);P=101.325kPa (1atm)
          F.S. (Full Scale): 滿量程值
          適用介質參數
          適用介質: 空氣、氧氣、氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、硅烷、氨氣、三氯氧磷、三氟化氮,或其他氣體
          氣體壓力: <2.5Mpa
          氣體溫度: -20~60°C
          流量范圍:
          (1) 10, 30, 50, 100, 300, 500SCCM;
          (2) 1, 3, 5, 10, 30SLM;
          (3) 100, 300, 500, 1200SLM
           
          測量性能參數
          耐 壓: 1.6MPa, 定制耐壓
          響應時間: < 20ms
          精 度: (1) ± 1% F.S., (2) ± 1.5% F.S., (3) ± 2% F.S.
          重 復 性: < 0.25% F.S.
          靈 敏 度: < 0.1% F.S.
          零 漂: < 0.1% F.S.
          壓 差: <0.2MPa (不同使用環境有所區別)
          輸入氣體:1 通道 (用于流量計校準),2 通道,3 通道,4 通道,5 通道,定制
          輸出氣體:1 通道,2 通道,3 通道,4 通道,定制
           
          電氣參數
          電 源: DC24V , AC220V
          功 耗:
          連 接: 引線連接
           
          控制與輸出
          GMU 匹配工控機,通過觸摸屏操作實現氣體精確配比控制。
          輸出流量和配比率在適用量程范圍內連續可調,氣體配比濃度值實時顯示 (選配),配比壓力連續可調(選配)。采用工業觸摸屏控制,性能穩定,人機界
          面友好。支持實時數據顯示,歷史數據趨勢,報表輸出??蛇x配 RJ45 通訊網口實現數據傳輸,可利用USB 接口直接使用 U 盤傳遞數據,支持MODBUS標準通訊協議。安裝方式包括架裝 5U 機箱,桌面5U 機箱,手持便攜式。
          主控界面
           
          趨勢曲線
          模擬輸出: 4~20mA
          數字輸出: Modbus RTU RS485, Ether cat, ProfibusDP, Profinet (可選)
           
          機械參數
          過程連接: 快速接頭; 卡套接頭
          尺 寸: 485x420x210mm (長 x 寬 x 高) 參考附圖
          防護等級: IP54
           
          材料
          流 道: 鋁合金、SUS304、SUS316L
          密 封: 氟橡膠, 三元乙丙橡膠, 硅膠, XX 定制
          接 頭: SUS304、SUS316L, XX 定制
          MX83Axx-Bxx-Cxx-Dxx-Exx-Fxx-Gxx
          A 進氣通徑: 03, 06, 10, 15, 20, XX 定制 (mm)按最大通徑選取
          B 輸出流量: (1) 10, 30, 50, 100, 300, 500SCCM;
                            (2) 1, 3, 5, 10, 30SLPM;
                            (3) 100, 300, 500, 1000SLPM, XX 定制
          C 壓 力: 16 P< 1.6MPa, XX 定制
          D 輸入通道: 02 二元氣體, 03 三元氣體, 04 四元氣體
          E 輸出通道: 01 單通道, 02 二通道, 03 三通道
          F 氣體連接: 01 快速接頭, 02 卡套接頭
          H 安裝方式: 01 便攜式, 02 架裝 5U, 03 桌面 5U
           
          選型實例:
          MX8303-5L-16-02-01-01-01
          MX8300 系列氣體配比單元,最大進氣通徑 3mm; 最大輸出流量 5SLPM; 標稱壓力 1.6MPa; 輸入二元氣體輸出; 輸出單通道氣體;氣體連接為快速接頭;安裝方式桌面 5U
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